微觀裝置的制造及其處理技術
  • 一種加載高溫環境的超聲波激勵裝置及其工作方法與流程
    本發明涉及一種加載高溫環境的超聲波激勵裝置及其工作方法,屬于微型機械電子。由于MEMS微器件具有成本低、體積小、重量輕、集成度高和智能化程度高等一系列特點,目前已經在汽車、航空航天、信息通訊、生物化學、醫療、自動控制、消費品及國防等很多領域都得到廣泛的應用。在設計和開發MEMS時,...
  • 晶圓鍵合方法與流程
    本發明特別涉及一種晶圓鍵合方法,屬于晶圓鍵合。硅片這一材料在微電子行業中有著及其重要而廣泛的應用,硅片鍵合是使硅片鍵合界面處的原子在外界能量的作用下發生物理化學反應,從而形成共價鍵而連接到一起,并實現一定的連接強度。晶圓鍵合技術因為可以令晶圓間實現微觀的機械電子層面的連接,所以成為...
  • 一種刻蝕方向可控的硅納米孔結構制作方法與流程
    本發明涉及微納器件制備與應用,更具體地,涉及一種刻蝕方向可控的硅納米孔結構制作方法。近年來,隨著科學家們在生物分子篩選、基因測序等方面研究的越來越受關注,固態納米孔陣列傳感器也成為生物學科研工具中的重要器件。其中納米孔陣列是生物分子篩選器件的核心功能單元,固態納米孔的制造直接關系到...
  • 一種柔性壓力傳感器陣列及其制備方法與流程
    本發明涉及傳感器,尤其涉及一種柔性壓力傳感器陣列及其制備方法和用于膝關節壓力測量的組件。微機電系統(MicroelectroMechanicalSystem,MEMS)壓力傳感器,通常由硅杯、硅力敏電阻條等組合而成,硅力敏電阻條作為壓阻單元,對表面所受壓力進行感應測量。測量壓力...
  • 自支撐微納米結構及其制作方法與流程
    本發明涉及納米加工,尤其涉及一種自支撐微納米結構及其制作方法。隨著微納米科學與技術的發展,微納米尺度的材料生長和器件加工技術顯得越來越關鍵。微納米材料的生長技術已經非常成熟,如金屬有機化學氣相沉積、分子束外延、等離子體增強化學氣相沉積、原子層沉積、電子束蒸發以及磁控濺射等等。上述材...
  • 一種編碼陣列結構復合材料及其制備方法與流程
    本發明涉及超微型功能器件領域,具體而言,涉及一種編碼陣列結構復合材料及其制備方法。具有有序結構的微/nm線陣列材料在傳感器、磁記錄、光電組件、生物醫藥等超微型功能器件領域具有重要的應用潛能。在超短超強脈沖激光與物質相互作用的研究中,為了不斷提高X射線源的品質,獲取高時空分辨和高激光吸收轉化...
  • 一種在彈性襯底上制備微納結構的方法與流程
    本發明涉及一種在彈性襯底上制備微納結構的方法,具體涉及一種可用于在彈性襯底上制備二維或三維金屬或介質微納結構或器件的方法。通常,基于剛性襯底的結構、材料或器件一旦被制備出來,其光學特性就被固定下來了。盡管這些固定的光學特性可以應付集成光子學中的傳導、傳感和增強等被動功能。但在調諧、調制/開...
  • 一種新型無引線鍵合的MEMS傳感器封裝方法與流程
    本發明涉及一種傳感器封裝技術,屬于微電子機械系統或半導體制造領域。微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是指可利用半導體制造平臺批量制作的微型傳感器、執行器等器件或系統。近年來,物聯網技術迅速發展,被稱為繼計算機、互聯網之后世界信息產業發展的...
  • 懸臂梁結構的微型電場傳感器的制備工藝流程的制作方法
    本發明涉及半導體工藝傳感器加工領域,特別是一種懸臂梁結構的微型電場傳感器的制備工藝流程。為了實現智能電網在復雜發用電環境下運行的可靠、安全、經濟、高效、環境友好目標,開發先進的傳感和量測技術,構建系統信息采集網絡拓撲,為控制決策提供信息支撐是重要的實現基礎。滿足智能電網要求的實時監測傳感測...
  • 芯片的封裝結構以及封裝方法與流程
    本發明涉及芯片封裝,更具的說,涉及一種芯片的封裝結構以及封裝方法。激光具有獨特的光學特性,如單色性高、方向性強等特點,使得VCSEL芯片件的發展速度越來越快,應用范圍越來越廣。特別是由于激光極強的方向性,使得它不需借助透鏡就能在一定距離內保持光點的質量,使其成為條碼掃描的首選光源。...
  • 基于面外磁各向異性層的自旋霍爾納米振蕩器及制備方法與流程
    本發明屬于微波電子設備,具體涉及一種基于面外磁各向異性材料的自旋霍爾納米振蕩器及其制備方法?,F代移動通信中常用的微波源振蕩器主要有壓控LC振蕩器和晶體振蕩器等。其中,壓控LC振蕩器的電路設計靈活,成本低,易實現正弦波輸出和可調頻率輸出,但是,這種振蕩器的體積大(微米量級)、頻率較低...
  • 一種作為二次敏感結構的高Q值諧振梁結構的制作方法
    本發明屬于微機電系統領域,具體涉及一種作為二次敏感結構的高Q值諧振梁結構。諧振式壓力傳感器是一類典型的通過改變其等效剛度敏感壓力變化的諧振式傳感器,具有體積小,重量輕,功耗低,測量精度高,穩定性好,易批量生產,直接輸出數字量,易于計算機通訊等優點,一直是各國研究和開發的重點。對于直接敏感模...
  • 一種無損傷摩擦誘導納米加工方法與流程
    本發明屬于納米加工,具體涉及一種無損傷摩擦誘導納米加工方法。隨著納米技術的不斷發展,微/納傳感器和執行器展現出優異的穩定性、極高的分辨率和靈敏度、較強的抗干擾性能,在軍事和民用領域的應用都更為廣泛。其中,硅基微/納結構仍是這些性能優異功能器件的核心。研究發現,硅基微/納結構表面的污...
  • 具有機械去耦的微集成封裝MEMS傳感器及其制造方法與流程
    本發明涉及一種具有機械去耦的微集成封裝MEMS傳感器及其制造方法。如已知的那樣,使用MEMS(微機電系統)技術獲得的微集成傳感器由于它們不斷提高的可靠性、低成本和非常小尺寸而廣泛用于市場上。例如,美國專利No.6,131,466描述了一種壓阻類型的微集成MEMS壓力傳感器及其制造方法。美國...
  • 一種基于雙向脈沖電源的微納米電極制備裝置的制作方法
    本實用新型創造涉及一種微納米電極制備裝置,尤其是一種基于雙向脈沖電源的微納米電極制備裝置。微納米尺度的電極是進行微細加工的必要條件,目前制備微納米電極的方法主要有機械剪切、聚焦離子銑削、電解加工等。機械剪切制備出的電極主要為尖錐狀電極,成功率低且制備精度很難保證。聚焦離子銑削可以制備出各種...
  • 一種基于雙向脈沖電源的微納米電極制備裝置的制作方法
    本實用新型創造涉及一種微納米電極制備裝置,尤其是一種基于雙向脈沖電源的微納米電極制備裝置。微納米尺度的電極是進行微細加工的必要條件,目前制備微納米電極的方法主要有機械剪切、聚焦離子銑削、電解加工等。機械剪切制備出的電極主要為尖錐狀電極,成功率低且制備精度很難保證。聚焦離子銑削可以制備出各種...
  • 用于以激光熔化封閉微機械裝置的方法和微機械裝置與流程
    本發明涉及一種用于借助激光熔化來封閉微機械裝置的方法和一種具有激光熔化封閉部的微機械裝置。MEMS元件通常包括傳感器元件,該傳感器元件通過罩保護,以便免受周圍環境影響。這出于多種原因是必須的。傳感器元件的功能常常僅在確定的壓力范圍內提供。借助罩來調設、關封傳感器元件的周圍環境壓力并且在結構...
  • 用于加工層結構的方法和微機電器件與流程
    各種實施例涉及一種用于加工層結構的方法和一種微機電器件。通常,可利用半導體技術或其他技術生產各種微結構化模塊。例如,微結構化模塊有多種應用可能性,例如作為傳感器、執行器、濾波器等。微結構(例如具有微米范圍或更小的結構寬度)也可結合與之配合的電結構一起制造。只要會利用到微結構的機械性能,例如...
  • 用于制造MEMS傳感器的方法和MEMS傳感器與流程
    本公開涉及一種用于制造MEMS傳感器的方法和一種MEMS傳感器。MEMS傳感器是通過使用微系統技術制造的傳感器。在此,術語MEMS來自“microelectromechanicalsystem”(微機電系統)。例如,這種MEMS傳感器的示例為壓力傳感器或麥克風。發明內容一個實施方式涉及一...
  • 三維結構、制作三維結構的方法、及流體噴射裝置與流程
    本揭示涉及一種微機電系統裝置及納米裝置,且特別是涉及一種由含有多種光酸產生劑的復合光致抗蝕劑膜,來制作三維感光成像結構的改善的方法。微機電系統(micro-electromechanicalsystems,“MEMS”)及納米裝置通常包括由感光成像材料制作的三維(three-dimens...
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