空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置的制造方法

文檔序號:11001687
空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及液晶產品制作技術領域,尤其涉及一種空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置。
【背景技術】
[0002]在TFT-1XD的制作過程中都需要經過鍍膜,涂膠,曝光,顯影,刻蝕,剝離這些工序。在這些工序的前后大多會有清洗的環節,清洗的目的有所不同,通常工序前的清洗是為了清洗基板表面的Particle(顆粒物質),增加基板表面的粘附力等;而工序后的清洗通常是為了將工序所用的化學藥品清干凈;這些清洗單元后都需要連接著將清洗液分離的AirKnife(空氣刀),從而達到干燥基板表面的作用。
[0003]Air Knife作為分離清洗液的主要設備,傳統的設計存在著很大的弊端,如圖1和圖2所示,空氣刀I的出氣口為一條直線型縫隙,采用均勻的風速,要求較大的氣壓,存在造成多種不良的隱患,如對膜層表面的沖刷較大、Particle沿Air Knife風向在玻璃基板邊緣聚集、水漬殘留等,降低了機臺的生產的工藝Margin(成本),現已經發生的Issue(問題)與Air Knife的設計有所關聯的很多,如GCS高發、有機膜長邊聚集等;而且對于未來的高PPI產品來說,這些影響可能會表現的更加明顯,所以對Air Knife進行重新設計,顯得十分的必要。
【實用新型內容】
[0004]為了解決上述技術問題,本實用新型提供一種空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置,能夠更好的去除基板表面液體,降低水漬殘留的風險。
[0005]為了達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種空氣刀,用于分離基板表面的液體,包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0006]進一步的,所述第一部分為所述出氣口的中間區域,所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0007]進一步的,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。
[0008]本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置,包括向基板表面噴射氣體的空氣刀和用于傳送基板的傳送輥,所述空氣刀平行設置于基板的上方,所述空氣刀包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0009]進一步的,所述第一部分為所述出氣口的中間區域,所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0010]進一步的,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。
[0011 ]進一步的,所述傳送輥包括多個輥軸,每個所述輥軸上設有多個輥輪,每個所述輥軸中間區域的輥輪的直徑大于其兩側的輥輪的直徑。
[0012]進一步的,每個所述輥軸上的多個輥輪的直徑由相應輥軸的中間向兩端逐漸變小。
[0013]進一步的,還包括用于驅動所述傳送輥轉動以傳送基板從所述空氣刀下方經過的傳動結構。
[0014]本實用新型的有益效果是:空氣刀弧形出氣口的設置,利于基板中間區域的液體向邊緣流動,中間窄兩邊寬的設置利于基板邊緣區域液體的分離,極大地提升空氣刀的分離能力,從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集的風險。
【附圖說明】

[0015]圖1表示現有技術中空氣刀結構示意圖;
[0016]圖2表示現有技術中空氣刀使用狀態示意圖;
[0017]圖3表示本實用新型實施例中空氣刀結構示意圖;
[0018]圖4表示本實用新型實施例中傳送輥結構示意圖;
[0019]圖5表示本實用新型實施例中用于分離基板表面液體的分離裝置結構示意圖。
【具體實施方式】
[0020]以下結合附圖對本實用新型的特征和原理進行詳細說明,所舉實施例僅用于解釋本實用新型,并非以此限定本實用新型的保護范圍。
[0021]如圖3所示,本實施例提供一種空氣刀I,用于分離基板表面的液體,包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分11的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分12的寬度。
[0022]空氣刀弧形出氣口的設置,利于基板中間區域的液體向邊緣流動,空氣刀對應于基板中間區域的第一部分11的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分12的寬度的設置能夠保證在相同的氣壓下,空氣刀邊緣的風速大,中間的風速小,從而增大基板邊緣處的氣體流量,利于基板邊緣區域液體的分離,極大地提升空氣刀的分離能力,從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集和水漬殘留的風險。
[0023]進一步的,所述第一部分11為所述出氣口的中間區域,所述第二部分12為所述出氣口 I的任一端的端部。
[0024]進一步的,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。
[0025]出氣口I兩端的端部的寬度相等使得基板對應于出氣口 I的兩個邊緣的液體分離的速度相同,以便于控制基板上液體分離的時間。
[0026]如圖5所示,本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置,包括向基板3表面噴射氣體的空氣刀I和用于傳送基板3的傳送輥2,所述空氣刀I平行設置于基板3的上方,所述空氣刀I包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板3中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0027]空氣刀I弧形出氣口的設置,利于基板3中間區域的液體向邊緣流動,中間窄兩邊寬的設置能夠保證在相同的氣壓下,空氣刀I邊緣的風速大,中間的風速小,從而增大基板3邊緣處的氣體流量,利于基板3邊緣區域液體的分離,極大地提升空氣刀I的分離能力,從而降低顆粒物體沿基板3邊緣聚集和降低基板3邊緣水漬殘留的風險。
[0028]進一步的,所述第一部分為所述出氣口的中間區域,所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0029]進一步的,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。
[0030]出氣口兩端的端部的寬度相等使得基板對應于出氣口的兩個邊緣的液體分離的速度相同,以便于控制基板上液體分離的時間。
[0031]如圖4所示,本實施例中,所述傳送輥2包括多個輥軸22,每個所述輥軸22上設有多個輥輪21,每個所述輥軸22中間區域的輥輪21的直徑大于其兩側的輥輪21的直徑,圖4中表示的是一根棍軸的示意圖。
[0032]輥軸22中間區域的輥輪21的直徑大于其兩側的輥輪21的直徑利于基板中間區域的液體向基板邊緣流動,以加快基板的風干速度,且更有效的分離基板上的液體,且分離液體所需要的氣壓將會降低,減輕了氣流對基板表面的沖刷,減輕膜層被沖壞的風險。
[0033]進一步的,每個所述輥軸22上的多個輥輪21的直徑由相應輥軸22的中間向兩端逐漸變小,使得每個輥軸22的高度由中間向兩端逐漸降低,從而使得置于輥軸22上的基板的中間區域到邊緣區域的高低變換比較平緩,防止基板的液體分離不凈。
[0034]進一步的,用于分離基板表面液體的分離裝置,還包括用于驅動所述傳送輥I轉動以傳送基板從所述空氣刀下方經過的傳動結構。
[0035]以上所述為本實用新型較佳實施例,需要說明的是,對于本領域普通技術人員來說,在不脫離本實用新型所述原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本實用新型保護范圍。
【主權項】
1.一種空氣刀,用于分離基板表面的液體,其特征在于,包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。2.根據權利要求1所述的空氣刀,其特征在于,所述第一部分為所述出氣口的中間區域,所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。3.根據權利要求2所述的空氣刀,其特征在于,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。4.一種用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,包括向基板表面噴射氣體的空氣刀和用于傳送基板的傳送輥,所述空氣刀平行設置于基板的上方,所述空氣刀包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。5.根據權利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,所述第一部分為所述出氣口的中間區域,所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。6.根據權利要求5所述的用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,所述出氣口兩端端部的寬度相等,且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區域逐漸變小。7.根據權利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,所述傳送輥包括多個輥軸,每個所述輥軸上設有多個輥輪,每個所述輥軸中間區域的輥輪的直徑大于其兩側的輥輪的直徑。8.根據權利要求7所述的用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,每個所述輥軸上的多個輥輪的直徑由相應輥軸的中間向兩端逐漸變小。9.根據權利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置,其特征在于,還包括用于驅動所述傳送輥轉動以傳送基板從所述空氣刀下方經過的傳動結構。
【專利摘要】本實用新型涉及一種空氣刀,用于分離基板表面的液體,包括一氣體腔室,所述氣體腔室的一端具有進氣口,另一端具有一弧形縫隙狀出氣口,所述出氣口對應于基板中間區域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應于基板邊緣的第二部分的寬度。本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置。本實用新型的有益效果是:空氣刀弧形出氣口的設置,利于基板中間區域的液體向邊緣流動,中間窄兩邊寬的設置利于基板邊緣區域液體的分離,極大地提升空氣刀的分離能力,從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集的風險。
【IPC分類】F26B21/00
【公開號】CN205383870
【申請號】CN201620185993
【發明人】周如, 黃勝, 吳春暉, 董必良
【申請人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2016年3月10日
再多了解一些
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