一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的制作方法

文檔序號:17064441發布日期:2019-03-08 18:52
一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的制作方法

本實用新型涉及ITO靶材加工夾具技術領域,尤其涉及一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具。



背景技術:

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源,簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產生不同的殺傷破壞效應,例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等,更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具就是一種ITO靶材加工時輔助固定裝置,傳統的ITO靶材加工夾具結構較為簡單,固定時將ITO靶材固定死,無法進行調節,使得在進行加工時不夠方便。



技術實現要素:

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具。

為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具,包括夾具底板和第二弧形固定架,所述夾具底板的四個拐角處通過固定套架螺旋嵌入連接有水平調節螺桿,所述水平調節螺桿的頂端連接有調節轉柄,所述水平調節螺桿底端套接有支撐塊,所述夾具底板上滑動連接有第一弧形固定架,且第一弧形固定架兩側通過連接架連接伸縮桿,所述夾具底板上位于第一弧形固定架對應一側通過支撐架焊接有第二弧形固定架,所述第一弧形固定架和第二弧形固定架上弧形通孔內均通過轉動軸承轉動連接有轉動連接軸。

作為上述技術方案的進一步描述:

所述伸縮桿共連接有兩個,且兩個伸縮桿分別與第一弧形固定架兩側的連接架相互連接。

作為上述技術方案的進一步描述:

所述第一弧形固定架和第二弧形固定架均為半圓環結構,且第一弧形固定架和第二弧形固定架的直徑相等。

作為上述技術方案的進一步描述:

所述夾具底板的中線處嵌入設有顯示夾具底板是否保持水平使用的十字水平儀。

作為上述技術方案的進一步描述:

所述第二弧形固定架兩側的支撐塊與第一弧形固定架兩側的連接架位置一一相互對應。

本實用新型中,首先通過在第一弧形固定架和第二弧形固定架內部連接有轉動連接軸,可以通過轉動連接軸帶動ITO靶材進行轉動,從而使得在對ITO靶材加工時更加的方便,增強該圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的實用性,其次,通過設有水平調節螺桿,可以對夾具底板進行水平調節,從而使得夾具底板保持水平,進而使得夾具底板固定的ITO靶材保持水平,在對ITO靶材進行加工時更加平整,提高了ITO靶材加工的品質,增大了市場的競爭力。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的結構示意圖;

圖2為本實用新型提出的一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的弧形固定架結構示意圖;

圖3為本實用新型提出的一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具的水平調節螺桿結構示意圖。

圖例說明:

1-固定套架、2-水平調節螺桿、3-夾具底板、4-第一弧形固定架、5-伸縮桿、6-連接架、7-支撐架、8-第二弧形固定架、9-十字水平儀、10-轉動軸承、11-轉動連接軸、12-調節轉柄、13-支撐塊。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。

參照圖1-3,一種圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具,包括夾具底板3和第二弧形固定架8,夾具底板3的四個拐角處通過固定套架1螺旋嵌入連接有水平調節螺桿2,水平調節螺桿2的頂端連接有調節轉柄12,水平調節螺桿2底端套接有支撐塊13,夾具底板3上滑動連接有第一弧形固定架4,且第一弧形固定架4兩側通過連接架6連接伸縮桿5,夾具底板3上位于第一弧形固定架4對應一側通過支撐架7焊接有第二弧形固定架8,第一弧形固定架4和第二弧形固定架8上弧形通孔內均通過轉動軸承10轉動連接有轉動連接軸11。

伸縮桿5共連接有兩個,且兩個伸縮桿5分別與第一弧形固定架4兩側的連接架6相互連接,第一弧形固定架4和第二弧形固定架8均為半圓環結構,且第一弧形固定架4和第二弧形固定架8的直徑相等,夾具底板3的中線處嵌入設有顯示夾具底板3是否保持水平使用的十字水平儀9,第二弧形固定架8兩側的支撐塊13與第一弧形固定架4兩側的連接架6位置一一相互對應。

工作原理:該圓盤型可轉動的ITO靶材加工夾具使用時,首先通過夾具底板3四個拐角處的水平調節螺桿2對夾具底板3進行水平調節,可以通過十字水平儀9了解夾具底板3是否保持水平,當夾具底板3保持水平時,可以將需要進行加工處理的ITO靶材防止在夾具底板3上的第二弧形固定架8中,在通過伸縮桿5帶動第一弧形固定架4進行移動,從而通過第一弧形固定架4和第二弧形固定架8對ITO靶材進行固定,在進行加工時,可以通過第一弧形固定架4和第二弧形固定架8上的轉動連接軸11對ITO靶材進行轉動調節,從而使得在進行加工時更加的方便。

以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內,根據本實用新型的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。

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